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化学蒸汽沉积法

【化学蒸汽沉积法】基础信息（英文,繁体）

词语化学蒸汽沉积法
繁体化學蒸汽沉積法
英文chemical vapor deposition method

【化学蒸汽沉积法】是什么意思

指以沉积方式生长晶片的方法，以钝气（如氦气、氩气）为载体，将汽化的金属氯化物流过单晶基片时，金属可在其上沉积。本法的优点是厚度均匀但生长的速度慢。

来源：-- 资讯与通信术语辞典

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