利用光波干涉现象以量测微小距离或长度或物体表面精度之装置，其原理如图所示。将入射光波被分光镜分为二道互相垂直光束而分别投射于二个距离不同的面上，当该二束光被反射而再重迭为一时，会因其所行经之路径长短不同而产生干涉条纹（如图），依此条纹的粗细、条数可计算出前述两个面间的微小距离差，通常为波长的倍数，常用的干涉仪有菲索（Fizeau）、迈克森（Michaelson）及柴门格林（Tuyman Gtrrn）干涉仪等型式。
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