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以光学干涉的技术进行量测时，为了高精度的需求，常将电子相位检测的技术应用于干涉条纹的定量分析中，由于光波频率对光检测器来说太高，一般而言有两种解决方法，一种是光干涉之相位差变成与时间无关的光强度变化，再配合适当的相位调变技术进行量化分析，另一种则是将两束干涉光中的参考光束进行频率偏移，产生低频的干涉讯号（称作拍频），即可以电子方式检测其相关讯息。产生频率偏移的方式很多，如：(1)PZT镜面移动装置，(2)旋转波板装置，(3)移动的绕射光栅，(4)声光调变器，和(5)光电调变器等，都是很常用的方法。