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光刻

【光刻】基础信息( 英文,繁体)

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  • 繁体光刻
  • 英文photolithography

【光刻】是什么意思

为一种平版印刷技术,用以转移电路设计图和晶片上的电子元件到晶圆上。晶圆上先涂有对光敏感的膜(抗光蚀),被透过光罩上的光照射到的部份会变硬,以利后续处理。

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